真空泵已成为真空工艺过程中*的主力军

　　在系统中做主泵所谓主泵就是对真空系统被抽容器直接进行抽真空，以获得满足工艺要求所需真空度的真空泵。粗抽泵粗抽泵是指从大气压开始降低真空系统压强达到另一抽气系统可以开始工作的真空泵。前级泵前级泵是指用于使另一个泵的前级压强维持在其高许可的前级压强以下的真空泵。维持泵维持泵是指当真空系统抽气很小时，不能有效的利用主要前级泵。为此，在真空系统中另配一种抽气速度较小的辅助前级泵来维持主泵的正常工作或维持已抽空的容器所需的低压的真空泵。粗真空泵或低真空泵粗、低真空泵是指从大气开始，降低被抽容器的压强后工作在低真空或粗真空压强范围内的真空泵。高真空泵高真空泵是指在高真空范围工作的真空泵。超高真空泵超高真空泵是指在超高真空范围工作的真空泵。