ALCATEL分子泵的安装环境你了解几个因素

更新时间：2020-08-24 点击次数：1243

　　ALCATEL分子泵是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备，广泛应用于IC生产制造的各个工艺。分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同，利用了动量传递原理，使分子定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。在分子流区域内，气体分子与高速转到的叶片表面碰撞，动量传递给气体分子，使部分气体分子在刚体表面的运动方向上，产生定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。正确的使用和及时的保养，对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。确认安装环境必须满足如下条件：

　　1) 泵体表面径向和轴向磁场强度均不得大于3mT(30Gs)；

　　2) 环境放射性强度<105rad；

　　3) 环境温度为5~40℃；

　　4) 空气相对湿度：≤85%；

　　5) 电压：220±22V，频率：50±1Hz；

　　6) 海拔：≤3000米。

　　安装前应检查分子泵运输中是否被损坏：打开泵高真空端法兰盖板，戴好手套，拨动涡轮转子，应转动灵活，无异常现象。若存在异常现象，应及时通知我公司，不得自行处理，否则由此带来损失我公司概不负责。

　　不允许将分子泵长期置于大气状态下存放，在打开进气口和排气口盲板时，应注意真空卫生要求，严禁杂物、灰尘等落入泵内。安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。

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